(1) 对洁净室的送风是有很高洁净度的空气。因此,选用或亚过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,使空气先经中效过滤器进行过滤。 (2) 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。 (3) 有足够的风量,既为了稀释...